微型振動(dòng)平臺(tái)振動(dòng)源驅(qū)動(dòng)分析

　  微型振動(dòng)平臺(tái)振動(dòng)源驅(qū)動(dòng)分析，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的微型振動(dòng)平臺(tái)，通過(guò)計(jì)算機(jī)設(shè)計(jì)控制電壓波形，對(duì)其進(jìn)行三維振動(dòng)控制。通過(guò)實(shí)驗(yàn)證明，該機(jī)構(gòu)具有良好的波形跟蹤性能，易于實(shí)現(xiàn)復(fù)雜控制波形，適用于微型機(jī)械的動(dòng)態(tài)性能測(cè)試。

　　僅適用于大型機(jī)械的測(cè)試實(shí)驗(yàn)，對(duì)于微型機(jī)械而言，目前為止，尚無(wú)理想的測(cè)試和實(shí)驗(yàn)方法。本文研究了一種以壓電元件為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的微型三支點(diǎn)振動(dòng)平臺(tái)，通過(guò)計(jì)算機(jī)設(shè)計(jì)和輸出電壓波形，控制平臺(tái)的三維振動(dòng)特性，以適應(yīng)不同測(cè)量對(duì)象的測(cè)試要求。

　　微型振動(dòng)平臺(tái)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，整個(gè)振動(dòng)臺(tái)由底座、壓電元件控制的二級(jí)柔性鉸鏈 放大機(jī)構(gòu)、圓柱柔性鉸、平臺(tái)四大部分等組成。對(duì)壓電元件施加以設(shè)定波形的電壓，壓電元件隨之伸長(zhǎng)，經(jīng)過(guò)柔性鉸鏈連接的二級(jí)杠桿放大機(jī)構(gòu)放大，在柔性鉸鏈端部得到一個(gè)輸出，經(jīng)過(guò)圓柱柔性鉸帶動(dòng)平臺(tái)振動(dòng)。為了盡量減小平臺(tái)振動(dòng)時(shí)剛性變形對(duì)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的影響，設(shè)計(jì)和加工了圖示圓柱柔性鉸，使之能自動(dòng)對(duì)平臺(tái)的橫向微小位移進(jìn)行調(diào)整。柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)根據(jù)柔性鉸鏈轉(zhuǎn)角與力矩之間的關(guān)系式(1)和壓電元件電學(xué)量、力學(xué)量之間的關(guān)系式(2)，可以設(shè)計(jì)出合理的柔性鉸鏈位移放大機(jī)構(gòu)外加電壓，柔性鉸鏈和振動(dòng)平臺(tái)性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)柔性鉸鏈性能測(cè)試拆去圖，結(jié)束語(yǔ)以上對(duì)標(biāo)準(zhǔn)壓力源的自校準(zhǔn)方法進(jìn)行了討論，筆者在研制壓力表自動(dòng)檢定系統(tǒng)時(shí)，針對(duì)所用壓力傳感器的情況采用了上述中的線性插值算法，實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的自校準(zhǔn)功能。事實(shí)表明，儀器采用軟件自校準(zhǔn)，既方便快捷，又能提高儀器性?xún)r(jià)比。